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      微細(xì)加工技術(shù)雜志

      部級(jí)期刊

      主管單位:信息產(chǎn)業(yè)部  主辦單位:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所

      雙月刊  審稿周期:預(yù)計(jì)3-6個(gè)月  

      《微細(xì)加工技術(shù)》由伍三忠擔(dān)任主編,創(chuàng)刊于1983年,由信息產(chǎn)業(yè)部主管、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦的一本電子領(lǐng)域?qū)I(yè)期刊。主要刊載該領(lǐng)域內(nèi)的原創(chuàng)性研究論文、綜述和評(píng)論等,力求及時(shí)、準(zhǔn)確、全面的反映該領(lǐng)域的政策、技術(shù)、應(yīng)用市場(chǎng)及動(dòng)態(tài)。

      • 43-1140/TN 國(guó)內(nèi)刊號(hào)
      • 1003-8213 國(guó)際刊號(hào)
      • 0.19 影響因子
      • 758 總被引量
      • 1983 創(chuàng)刊時(shí)間

      微細(xì)加工技術(shù)期刊信息

      • 出版語(yǔ)言:中文
      • 創(chuàng)刊時(shí)間:1983年
      • 國(guó)際刊號(hào):1003-8213
      • 曾用名:微細(xì)加工技術(shù)
      • 紙張開(kāi)本:A4
      • 國(guó)內(nèi)刊號(hào):43-1140/TN
      • 出版地區(qū):湖南
      • 發(fā)行周期:雙月刊

      微細(xì)加工技術(shù)期刊榮譽(yù)

      微細(xì)加工技術(shù)投稿須知

      1、文中圖、表隨文出現(xiàn),圖一般不超過(guò)6幅。插圖切勿過(guò)大,圖中文字符號(hào)應(yīng)與正文一致,圖片要清晰,層次分明。文章表格一律采用“三線表”。

      2、按GB7714-87《文后參考文獻(xiàn)著錄規(guī)則》采用順序編碼制著錄,依照其在文中出現(xiàn)的先后順序用阿拉伯?dāng)?shù)字加方括號(hào)于右上角標(biāo)出。

      3、引言:簡(jiǎn)明扼要地說(shuō)明本課題的背景、研究理由、目的、方法和意義。介紹研究的背景資料時(shí)應(yīng)引用相關(guān)文獻(xiàn)。不應(yīng)與摘要及討論部分的內(nèi)容重復(fù)。

      4、來(lái)稿要求論點(diǎn)明確、數(shù)據(jù)可靠、文字簡(jiǎn)練、層次分明、重點(diǎn)突出、結(jié)論準(zhǔn)確。

      5、來(lái)稿若有基金項(xiàng)目或其他資金資助項(xiàng)目,請(qǐng)?jiān)敿?xì)列出基金或其他資金項(xiàng)目類(lèi)型、名稱(chēng)及編號(hào),每篇來(lái)稿的基金項(xiàng)目或其他資金資助項(xiàng)目原則上不超過(guò)3個(gè)。

      6、注釋一律采用腳注,注碼用“①②③……”,“每頁(yè)重新編號(hào)”方式。注釋碼置于句 號(hào)、逗號(hào)、引號(hào)之后,不出現(xiàn)在頓號(hào)后,句中不出注。

      7、論著應(yīng)附中、英文摘要。中文摘要不超過(guò)400字,英文摘要與中文摘要相對(duì)應(yīng)。摘要采用第三人稱(chēng)撰寫(xiě),必須包括目的、方法、結(jié)果和結(jié)論四部分。

      8、題目、內(nèi)容提要、關(guān)鍵詞來(lái)稿題目限20個(gè)字以?xún)?nèi),副標(biāo)題不超過(guò)18個(gè)字;內(nèi)容提要字?jǐn)?shù)在300字以?xún)?nèi);關(guān)鍵詞一般為3至5個(gè),以分號(hào)隔開(kāi)。英文標(biāo)題需注意大小寫(xiě)問(wèn)題,英文關(guān)鍵詞統(tǒng)一小寫(xiě)(本當(dāng)大寫(xiě)的單詞除外)。

      9、作者簡(jiǎn)介:作者姓名(出生年一),性別(民族),籍貫,職稱(chēng),學(xué)歷,學(xué)位,主要研究方向,聯(lián)系電話,電子信箱。

      10、請(qǐng)勿一稿多投,如出現(xiàn)重復(fù)投稿,本集刊將采取嚴(yán)厲措施,本集刊概不退稿,請(qǐng)作者保留底稿。本論叢堅(jiān)持以質(zhì)論稿、擇優(yōu)錄用的原則,并實(shí)行匿名審稿制。

      微細(xì)加工技術(shù)編輯部聯(lián)系方式

      地址:長(zhǎng)沙市第96號(hào)信箱301分箱(長(zhǎng)沙黑石鋪)

      郵編:410111

      主編:伍三忠

      微細(xì)加工技術(shù)發(fā)文選摘

      • 1、電子束環(huán)氧基負(fù)膠的曝光反應(yīng)機(jī)理分析

        作者:盧文娟; 張玉林; 孔祥東

      • 2、環(huán)境因素對(duì)微納加工中精確定位影響的研究

        作者:張波; 薛虹

      • 3、電子束直寫(xiě)中X射線光刻掩模的熱形變研究

        作者:尚鴻雁; 王永坤

      • 4、飛秒激光應(yīng)用于合金材料微細(xì)加工的試驗(yàn)研究

        作者:劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧

      • 5、光刻機(jī)試驗(yàn)運(yùn)動(dòng)裝置振動(dòng)信號(hào)的時(shí)頻分析

        作者:鄧習(xí)樹(shù); 吳運(yùn)新; 隆志力; 楊輔強(qiáng)

      • 6、微細(xì)工件的高頻群脈沖ECLM試驗(yàn)研究

        作者:付偉; 張之敬; 溫楠

      • 7、基于AFM的多圖層圖形加工

        作者:李曉娜; 韓立

      • 8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線

        作者:李紅; 薛成山; 莊惠照; 張曉凱; 陳金華; 楊兆柱; 秦麗霞

      • 9、基于多種群遺傳算法的膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)

        作者:劉磊; 金春水; 金偉華

      • 10、Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學(xué)特性研究

        作者:李麗; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陳希明; 馮世娟

      微細(xì)加工技術(shù)同類(lèi)期刊

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